19日 スパッタリング薄膜の特異・異常現象とその対策
スパッタリングによる膜作製においてしばしば単なる物理スパッタリングや反応性スパッタリングでは理解しずらい異常現象に ぶつかる.これらを理解する際のヒントを中心に講演する.
19日 めっき膜の構造および物性制御技術および金属の腐食機構
本講演では講師の40年余りのめっきに関する実験結果から編み出された独特のめっき膜の構造および物性制御理論について解説する。
20日 エリプソメトリー薄膜測定入門 講義とEXCEL測定演習
エリプソメトリの原理や光学モデルの作成方法を実務的に述べ,エクセルを用いたパソコン実習によりその体得を図ります。モデルの設計やデータの解釈ばかりでなく,どのような試料を準備すればよいかまで理解できるようになるでしょう。
23、24日 真空システムにおけるトラブル事例とその対策
失敗の症状、原因、対策 【2日間徹底講座・演習付】
真空システムの設計・製造・運転上、何を気を付けるとトラブルと失敗を避け、無駄なくそのシステムの性能が発揮できるようになるか、トラブルと失敗の症状、原因、対策、および、その背景にある真空の基礎物理を解説する。
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